Warum Reinraum in der Herstellung von Halbleiter so wichtig ist

Die moderne Technologieentwicklung hat die Herstellung von Halbleitern für die Weiterentwicklung der Entwicklung der Elektronikindustrie wesentlich gemacht. Die billigsten und kleinsten Partikel, die während der Herstellungsphase aufgetaucht sind, haben die Leistung, sowohl die Funktionalität von Chips als auch deren Herstellungsergebnisse zu beschädigen. Reinräume haben sich inzwischen als kritische Komponenten für jede Halbleiterproduktionsanlage etabliert. Der Reinraum hat eine solche Bedeutung aus welchem ​​Grund? Welche Mechanismen behält der Reinraum makellose Qualitätsstandards und Genauigkeit für die Herstellung von Chip beibehält?

Wie wirken sich Geräte und Materialien auf die Sauberkeit eines Reinraums aus?

Der Reinraum erfordert vollständige Screening- und Managementprotokolle für alle Materialien und Geräte, um die Verschmutzung zu verhindern. Die Produktionsausrüstung erzeugt winzige Partikel, die zu Chipfehlern führen würden, wenn nicht ordnungsgemäße Steuerungen implementiert werden. Der effiziente Betrieb von Filtrationssystemen wird wesentlich, da chemische Materialien sowie Photoresistern und Lösungsmittel, die in der Produktion verwendet werden, während des Betriebs erhebliche gasförmige Schadstoffe erzeugen.

Die Auswahl der Kleidung der Mitarbeiter spielt eine entscheidende Rolle im Clean Room Management. Spezielle Schutzverschleiß, einschließlich Kleidung und Handschuhen mit Masken, werden für den Zugang von sauberem Raum erforderlich, da gewöhnliche Kleidung umfassende Ballaststoffe zusammen mit Staubpartikeln erzeugt.

Um ein hohes Maß an Sauberkeit im Reinraum aufrechtzuerhalten, ist die Luftströmungsmethode von entscheidender Bedeutung. Derzeit gibt es drei Hauptluftströmungsmethoden in Reinräumen:

Unidirektionaler laminarer Fluss

Das unidirektionale Strömungsreinraum -Design verwendet HEPA- oder ULPA -Filter, um Luft in vertikale oder horizontale Richtungen bis zu seiner Freigabe auf Bodenebene oder entlang der Seitenwände zu transportieren. Die Methode bietet eine effektive Entfernung von Schadstoffen, wodurch es für Produktionsräume geeignet ist, die extrem saubere Betriebsumgebungen wie Chip -Herstellungsanlagen benötigen.

Nichtunidirektionalfluss

Das Luftstromdesign von Reinräumen unter nicht unabhängiger Verteilung ermöglicht eine zufällige Bewegung, bei der die Versorgungsluft durch Beatmungspunkte eintritt und sich dann im gesamten Bereich verteilt. Die Technik ist in Betrieb, die nur begrenzte Sauberkeit erfordern, z. B. Tests und Verpackungen, die jedoch saubere Bereiche mit geringer Klasse fordern.

Gemischter Fluss

Das gemischte Flusssystem enthält unidirektionale Flussmuster in lebenswichtigen Bereichen und implementieren nicht unidirektionale Muster, bei denen niedrigere Sauberkeitsstandards erforderlich sind. Das Systemdesign kombiniert beide Sauberkeitsschutz mit hohem Produkt in Prioritätszonen mit kostengünstigen Betriebsbedingungen.