Wie erreicht der Reinraum Sauberkeit?

Aufgrund der Komplexität der äußeren Umgebung ist es nicht leicht, die tatsächliche Sauberkeit von Fab zu verwirklichen. Die Hauptquellen der Kontamination sind Partikel, Metallelemente und organische Substanz aus Personalaktivitäten. Partikel und Metallelemente aus dem Ausrüstungsbetrieb. Partikel, Metallelemente und organische Stoffe aus Roh- und Hilfsmaterialien. Partikel oxidierter organischer Substanz aus Betriebsmethoden. Und Partikel aus der Workshop -Umgebung. Von diesen macht Partikel etwa 37-70%, flüssige Partikel für etwa 10 bis 30%und Mikroorganismen für etwa 5 bis 20%aus.

Um unterschiedliche Sauberkeitsniveaus zu erreichen, erfordert FAB normalerweise die Vorbereitung eines komplexen Systems, das den derzeit in Häusern verwendeten Frischluftsystemen durch Hinzufügen von Filtern mit unterschiedlicher Größe mit unterschiedlichen Porengrößen zwischen Aufnahme und Abgas ähnlich ist. Normalerweise ist der Luftdruck in der Fabrik höher als der äußere atmosphärische Druck, um einen spontanen Zufluss von Schadstoffen zu vermeiden, um zu kontaminieren.

Zusätzlich zur hochvolumigen Filtration von außen Verunreinigungen sind im Reinraum komplexe Systeme erforderlich , um die Sauberkeit des Reinraums weiter zu verbessern. In der Regel ist eine große Anzahl von Klimaanlagen erforderlich, um die Luft durch hohe Effizienz-Partikelluftfilter (HEPA) zu filtern und die Temperatur und Luftfeuchtigkeit entsprechend zu steuern (die Reinraumtemperatur beträgt 20-26 ° und die Luftfeuchtigkeit beträgt weniger als 70%). Die Sauberkeitsanforderungen verschiedener Prozessanlagen werden von verschiedenen Systemen realisiert.

Für Bereiche mit hohen Sauberkeitsanforderungen werden häufig ULPA -Systeme (Ultra niedrige Permeabilitätsluftfilter) verwendet, dh horizontaler oder vertikaler unidirektionaler laminarer Fluss sowie die Kontrolle der Anzahl der Personalmeldungen, eine Form von Luftströmungen, die dazu beiträgt, eine gleichmäßige Verteilung der Airborten -Partikel aufrechtzuerhalten und die Spread von Partikel des Raums im Raum im Raum zu minimieren. Durch die Steuerung der Richtung und Geschwindigkeit des Luftstroms kann ein stabilerer und gleichmäßigerer laminarer Luftstrom erreicht werden. Für andere Shop -Anforderungen werden häufig HEPA -Filter (hohe Effizienz -Partikelluft) verwendet, um dies zu erreichen, dh durch einfache Turbulenzen.

Um zu verhindern, dass die Außenverschmutzung in den sauberen Raum eindringt, muss sichergestellt werden, dass der statische Druck in Innenräumen höher ist als der statische Druck der Außenwelt, die Druckdifferenz gemäß den folgenden Prinzipien aufrechterhalten werden:

1. sauberer Raum ist höher als der Nicht-Clean-Bereich.

2. Die hohe Sauberkeit des Raums statischer Druck ist höher als die angrenzende Sauberkeit des Raumes.

3. Die Reinraumtür des sauberen Raums sollte bis zum hohen Sauberkeit der Region geöffnet werden.