ISO 14644 und Reinraumstandards, Klassifizierung, Testmethoden und Compliance -Anforderungen

Die Halbleiterindustrie erfordern zusammen mit der biomedizinischen und Lebensmittelverarbeitung Reinräume , um die Produktqualität zu gewährleisten. Das Cleanroom -Management folgt den internationalen Anforderungen, die im ISO 14644 -Standard beschrieben wurden und die Luftsäurigkeitsklassen und Testverfahren und Compliance -Protokolle beschreiben.

1. Was ist ISO 14644?

ISO 14644 ist eine von der internationalen Organisation für Standardisierung entwickelte Reinraumspezifikation, in der sich die Klassifizierung von Reinräumen auf der Grundlage der Konzentration von Partikeln in der Luft befassen und festlegen, wie saubere Umgebungen getestet und aufrechterhalten werden sollten.

2. Cleanroom Air Sauberkeitsklassen

ISO 14644-1 legt das Cleanroom -Klassifizierungssystem ISO 1 bis ISO 9 fest, das eine höhere Sauberkeit durch niedrigere numerische Werte definiert. Die Standard-ISO-Klassen 1-3 servieren die Semiconductor-Herstellung, während Pharmazeutika und Labors ISO-Klassen 4-5 benötigen und alle Innenumgebungen mit Lebensmitteln oder medizinischen Zwecken die ISO-Klassen 6-8 verwenden. Die Grenzwerte für Partikel in Reinraumluft folgen spezifischen Kriterien nach ISO -Standards, bei denen die ISO -Klasse 5 nicht mehr als 3.520 Partikel für ≥0,5 μm ermöglicht, aber die ISO -Klasse 8 unterstützt bis zu 35.200.000 Partikel.

3.. Reinraumtest und Validierung

Die von ISO 14644-2 bereitgestellten Standards bestimmen, was für die regelmäßige Überwachung von Reinigungsräumen durch folgende Anforderungen erforderlich ist:

• In der Luft befindliche Partikel -Tests: Testen der Luftpartikel unter Verwendung von Messgeräten in der Luft fallen in diese Kategorie.

• Luftstrommuster -Test: Ein Rauchprüfungsfunktion, um zu prüfen, ob der Luftstrom eine gleichmäßige Verteilung im gesamten Untersuchungsbereich beibehält.

• Zähl- und Luftgeschwindigkeitsmessungen des Luftwechsels: Zähl- und Luftgeschwindigkeitsmessungen der Luftwechsel: Gewährleistung einer angemessenen Versorgung mit sauberer Luft.

• Differentialdruckkontrolle: Die erforderliche Anforderung besteht darin, den Überdruck in Bereichen mit hoher Sauberkeit aufrechtzuerhalten, da sie außerhalb von Schadstoffen daran hindern, in diese Räume einzudringen.

V.

• Konstruktionsphase: Die Auswahl der geeigneten Filtrationsstufe mit HEPA/ULPA -Filtern und der ordnungsgemäßen Luftstromdesign findet während der Entwurfsphase statt.

• Bauphase: Bauaktivitäten sollten staubreduzierende Materialien zusammen mit geeigneten Versiegelungsmethoden verwenden, um die Emissionspunkte der Verschmutzung zu minimieren.

• Betriebsphase: Die Betriebsstufe erfordert eine kontinuierliche Überwachung der Luftqualität und der Wartung von Geräten mit Eintrittskontrollen für Personen und Materialien zum Prozess.