Aufgrund der Komplexität der äußeren Umgebung ist es nicht leicht, die tatsächliche Sauberkeit von Fab zu verwirklichen. Die Hauptquellen der Kontamination sind Partikel, Metallelemente und organische Substanz aus Personalaktivitäten. Partikel und Metallelemente aus dem Ausrüstungsbetrieb. Partikel, Metallelemente und organische Stoffe aus Roh- und Hilfsmaterialien. Partikel oxidierter organischer Substanz aus Betriebsmethoden. Und Partikel aus der Workshop -Umgebung. Von diesen macht Partikel etwa 37-70%, flüssige Partikel für etwa 10 bis 30%und Mikroorganismen für etwa 5 bis 20%aus.
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